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コーティング実績はほんの一例に過ぎません。ご使用時の条件によってはコーティンググレードを最適化する必要がありますのでご遠慮なくご相談ください。
施工仕様例：PFA
膜厚：１００（μｍ）
平面度0.02㎜以ウエハチャック力向上・金属接触防止
ウエハチャック
01
施工仕様例：PFA
膜厚：３００（μｍ）
メッキ液からの防食、メッキ析出防止
メッキ槽
02
施工仕様例：PFA
膜厚：１００（μｍ）
金属イオン汚染防止・チャック部平面度0.02㎜以下
バキュームチャック
03
施工仕様例：PFA
膜厚：５００（μｍ）
金属イオン汚染防止
超音波洗浄槽
04
施工仕様例：PFA
膜厚：２００（μｍ）
メッキ付着防止、防食
メッキラック
05
施工仕様例：PTFE（導電性）
膜厚：３０（μｍ）
ガラス基板保護、帯電防止
10.5世代液晶ガラス基板用プレート
06
施工仕様例：PFA
膜厚：２００（μｍ）
石英破損保護
ウエハ洗浄治具
07
施工仕様例：FEP
膜厚：３００（μｍ）
ダクト内腐食防止
排気ダクト
08
施工仕様例：PFA
膜厚：１００（μｍ）
気密シール性
真空ポンプローター
09
施工仕様例：PTFE
膜厚：１５（μｍ）
研磨材付着防止
ウエハ研磨用治具
10
施工仕様例：PEEK
膜厚：１００（μｍ）
コンタミ防止
電子部品ハンガー
11
施工仕様例：MCD-252
膜厚：４０（μｍ）
ゴム基材の耐有機溶剤
パッキン
12
施工仕様例：PEEK
膜厚：１００（μｍ）
金属イオン汚染防止
キャリアハンドル
13
施工仕様例：ECTFE
膜厚：２００（μｍ）
防食
タンク
14
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